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它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控制。
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可對應±0.5％F.S.：SEC-405(氣體種類限定)
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同系列產(chǎn)品，從0.1CCM至200SLM(N2)都可進行流量控制
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實現(xiàn)面間距離106mm: SEC-300型式
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SEC-310
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NO: 非通電時：開； NC: 非通電時：關(guān)閉
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM
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SEC-320
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM
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SEC-405
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10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8
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SEC-410
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NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guān)閉
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10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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SEC-510
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NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guān)閉
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SEC-510A
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NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guān)閉
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SEC-551
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NO: 非通電時：開 ；NC: 非通電時：關(guān)閉
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SEC-400MK2
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10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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SEC-400MK3
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10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
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SEC-500MK3
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10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
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