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搭載采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器
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通過(guò)采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
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可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
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名稱
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質(zhì)量流量計(jì)
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型號(hào)
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LF-F20M-A
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LF-F30M-A
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LF-F40M-A
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LF-F50M-A
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LF-F60M-A
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全標(biāo)度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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檢測(cè)控制范圍
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5?100% F.S.
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對(duì)象液體種類 *1
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可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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液體粘度 *2
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最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
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精度 *3
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±1% F.S.
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直線性 *3
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±0.5% F.S.
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重復(fù)性 *3
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±0.5% F.S.
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響應(yīng)精度
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3秒以內(nèi) (T98)
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2秒以內(nèi) (T98)
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使用環(huán)境溫度 *4
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5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
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溫度影響 Span
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±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
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工作差壓值值 *5
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最大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
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耐壓
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10MPa (視為流量計(jì))
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壓力損失
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最大值. 500Pa
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流量設(shè)定信號(hào)
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模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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流量輸出信號(hào)
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模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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驅(qū)動(dòng)電源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏規(guī)格
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5×10-12Pa·m3/s (He)
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接液部材質(zhì)
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SUS316L, Ni
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標(biāo)準(zhǔn)接頭
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1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
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名稱
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質(zhì)量流量控制器
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型號(hào)
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LV-F20 (PO/MO)
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LV-F30 (PO/MO)
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LV-F40 (PO/MO)
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LV-F50 (PO/MO)
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LV-F60 (PO/MO)
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全標(biāo)度流量(g/min)
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0.02/0.05/0.1
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0.2/0.5
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1/2/5
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10/20
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50/100
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檢測(cè)控制范圍
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5?100% F.S.
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對(duì)象液體種類 *1
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可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
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液體粘度 *2
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最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
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精度 *3
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±1% F.S.
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直線性 *3
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±0.5% F.S.
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重復(fù)性 *3
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±0.5% F.S.
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響應(yīng)精度
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3秒以內(nèi) (T98)
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2秒以內(nèi) (T98)
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使用環(huán)境溫度 *4
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5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
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溫度影響Span
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±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
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工作差壓值 *5
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0.05?0.3MPa
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耐壓
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1MPa
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壓力損失
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ー
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流量設(shè)定信號(hào)
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模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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流量輸出信號(hào)
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模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
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驅(qū)動(dòng)電源
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+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
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外部泄漏規(guī)格
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PO 類型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa•m3/s (He)
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接液部材質(zhì)
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PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類型： SUS316L，Ni
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標(biāo)準(zhǔn)接頭
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1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型
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1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
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*1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測(cè)含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過(guò)濾器。
*2： LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 最大值， 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
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